Flanschteile aus 99,3 % Aluminiumoxid-Keramik
Die Hauptanwendung von Keramikflanschen aus 99,3 % Aluminiumoxid besteht darin, eine hohe Präzision und Stabilität bei Rohrleitungs- oder Geräteverbindungen und Abdichtungen unter rauen industriellen Bedingungen zu erreichen.Zu den spezifischen Anwendungsgebieten gehören:
Halbleiterindustrie:Dies ist der häufigste Anwendungsbereich für Aluminiumoxid-Keramikflansche. Bei der Chipherstellung müssen große Mengen hochreiner und stark korrosiver chemischer Gase (wie Silan, Chlor, Stickstofftrifluorid usw.) sowie Reinstwasser transportiert werden. Keramikflansche bieten optimalen Schutz vor chemischer Korrosion und gewährleisten so, dass die Gase während des Transports nicht mit Metallionen verunreinigt werden. Dadurch werden die extrem hohen Reinheitsanforderungen für die Chipproduktion erfüllt.
Hochtemperaturgeräte:In Industrieöfen, Wärmebehandlungsanlagen, Vakuumöfen und anderen Anwendungen, die dauerhafte oder intermittierende hohe Temperaturen erfordern, können Aluminiumoxid-Keramikflansche Dimensionsstabilität und Festigkeit ohne Kriechen oder Oxidation wie Metalle gewährleisten.
Analytische Instrumente und Spezialausrüstung:Probenzuführungssysteme oder Vakuumkammern, die in Präzisionsanalysegeräten wie Massenspektrometern und Chromatographen eingesetzt werden, um deren Anforderungen an hohe Reinheit, Korrosionsbeständigkeit und Vakuumdichtigkeit zu erfüllen.
