Ein führender Halbleiteranlagenhersteller in China verwendet 99%hochreine Aluminiumoxid-Keramikstäbeals zentrale Präzisionsstützkomponenten des Gerätegehäuses, die die ursprüngliche Edelstahl-Stützstruktur ersetzen, wird eine doppelte Verbesserung der Geräteleistung und der Betriebseffizienz erreicht.
Kundenspezifische HochpräzisionAluminiumoxid-KeramikstabMit seiner glatten und ebenen Oberfläche vereint dieser Keramikstab die Kerneigenschaften hoher Steifigkeit, niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten, Plasmakorrosionsbeständigkeit, hoher Isolationsfähigkeit und geringer Staubablagerung und eignet sich somit ideal für die anspruchsvollen Betriebsbedingungen von Ätzanlagen, die auf Sauberkeit, hohe Präzision und Dauerbetrieb ausgelegt sind. Der Stab dient hauptsächlich zur Fixierung der optischen Detektionskomponenten und Wafer-Begrenzungsstrukturen im Inneren der Anlage und spielt eine zentrale Rolle bei der präzisen Unterstützung, Positionierung, Kalibrierung, Isolation und dem Schutz der Anlage. Dadurch wird die strukturelle Stabilität der Anlage während des Hochgeschwindigkeits-Hubbetriebs gewährleistet.
